新锐企业｜微导纳米推动原子层沉积技术在新兴产业领域应用取得新突破

　　前不久，江苏微导纳米科技股份有限公司创新研发的原子层沉积（ALD）量产设备发往欧洲芯片制造客户，专用于其新型车载芯片的生产制造，再次实现国产高端设备出口海外，这是微导纳米推动原子层沉积技术在新兴产业领域应用取得的新突破。微导纳米通过多元化布局和全球化发展，业绩实现了飞速发展，公司2023年营业收入为16.8亿元，同比增加145.39%。

　　作为一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，自2015年成立以来，微导纳米专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用，形成了以原子层沉积技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体、泛半导体及柔性电子等诸多领域，多项设备关键指标达到国际先进水平。公司成立后，迅速成长为国家级专精特新“小巨人”企业，仅用7年时间就成功登陆科创板。据统计，公司原子层沉积产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。

　　“微导纳米一开始就确定了最先进的技术路线，因为原子层沉积技术具有优异的三维保型性、大面积均匀性、膜厚控制和低温生长等特点，所以能在众多的薄膜沉积技术中脱颖而出。”公司相关负责人表示。随着半导体设备制程越来越先进、芯片设计结构越来越复杂、线宽越来越小,对制造技术要求越来越高；原子层沉积技术基于单原子层生长的特性，决定了其十分适用于相关半导体器件的升级和迭代。以逻辑器件为例，在28纳米这个节点，必须用到原子层沉积技术才能实现某些工艺环节的薄膜沉积。为此，公司紧紧抓住国内半导体行业重要发展机遇，进行技术突破，成为国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，为国内半导体产业的发展作出了重要贡献。

　　除了集成电路，微导纳米在光伏行业同样表现不俗。公司人士介绍，受制于技术垄断，中国光伏产业很长一段时间都依赖于从欧美发达国家大量进口薄膜沉积设备。为推动我国原子层沉积技术产业化，微导纳米攻坚克难，历经磨砺，率先将原子层沉积技术规模化应用于光伏电池片生产过程，为高效晶硅太阳能电池表面提供高质量超薄钝化膜；该技术有效提高了电池的光电转换效率，推动产能进一步提升。目前，公司已成为提供高效电池技术与设备的领军者之一，在同类型产品中市场占有率稳居全球第一梯队。

　　在关键技术领域取得突破，与微导纳米注重人才引进、科技创新和加大研发投入密不可分。据了解，公司拥有研发人员超过300人，占员工总人数近20%。公司还与复旦大学、上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学、澳大利亚新南威尔士大学等知名院校建立了良好的合作关系，共同推进原子层沉积技术的创新发展。公司依托技术建立了江苏省工程研究中心、企业技术中心、工程技术研究中心等六大省级研发平台，相关产品荣获江苏省首台（套）重大装备、中国半导体创新产品和技术、IC创新奖等荣誉。   （张安宇）